コヒーレントAlN/AlGaNヘテロ構造の作製とトランジスタ応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z27-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2616

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

コヒーレントAlN/AlGaNヘテロ構造の作製とトランジスタ応用

*前田亮太, 上野耕平, 小林篤, 藤岡洋

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キーワード: 18a-Z27-8, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, AlGaN, スパッタリング

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