応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-Z27-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

Face-to-faceアニール処理されたスパッタ成膜AlNテンプレート上AlGaN系多重量子井戸構造の内部量子効率
藤井 厚志, 押村 遼太, 草場 崇史, 倉井 聡, *室谷 英彰, 上杉 謙次郎, 三宅 秀人, 山田 陽一
著者情報
キーワード: 19a-Z27-8, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 光物性（GaN, AlGaN, AlInN）, AlGaN多重量子井戸, 内部量子効率, Face-to-Faceアニール法
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