高温有機金属気相成長装法におけるAlN成長の気相反応抑制

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-Z27-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2640

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

高温有機金属気相成長装法におけるAlN成長の気相反応抑制

*永松謙太郎, 津田翔太, 青野零弥, 宮川学, 揚田侑哉, 平山秀樹, 髙島祐介, 直井美貴

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キーワード: 19p-Z27-14, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, 深紫外発光素子, 結晶成長

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