アルコールCVD法を用いたGaN上へのグラフェン直接成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-P02-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2864

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

アルコールCVD法を用いたGaN上へのグラフェン直接成長

*薮田翔平, 毛利真一郎, 荒木努

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キーワード: 19p-P02-8, ナノカーボン, グラフェン, 成長技術, グラフェン, 窒化物半導体, 結晶成長

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