Mo原料としてi-Pr<sub>2</sub>DADMo(CO)<sub>3</sub>を用いた低温MOCVDによるMoS<sub>2</sub>薄膜の膜質向上

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z31-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2873

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

Mo原料としてi-Pr₂DADMo(CO)₃を用いた低温MOCVDによるMoS₂薄膜の膜質向上

*山崎浩多, 日比野祐介, 橋本侑祐, 町田英明, 石川真人, 須藤弘, 若林整, 小椋厚志

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キーワード: 18a-Z31-3, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, 遷移金属ダイカルコゲナイド, 有機金属化学気相成長

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