基板付き圧電薄膜構造における<i>k</i><sub>t</sub><sup>2</sup>評価法に寄生インダクタンスが与える影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-Z13-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_393

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

基板付き圧電薄膜構造におけるk_t²評価法に寄生インダクタンスが与える影響

*山中恵理, 近藤圭太, 龍見亮汰, 柳谷隆彦

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キーワード: 17p-Z13-5, 応用物理学一般, 超音波, 圧電デバイス, 圧電体, 電気機械結合係数

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