強誘電性液晶空間光変調素子を用いたパルス毎ビーム成形によるホログラフィックフェムト秒レーザー加工

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z07-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_773

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

強誘電性液晶空間光変調素子を用いたパルス毎ビーム成形によるホログラフィックフェムト秒レーザー加工

野崎健太, 田辺綾乃, 長谷川智士, *早崎芳夫

著者情報

キーワード: 19a-Z07-9, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 微細加工, 空間光変調素子, フェムト秒レーザー加工, 計算機ホログラム

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