ナノ秒光渦レーザーによるSi表面のレーザーアブレーション

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z07-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_775

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

ナノ秒光渦レーザーによるSi表面のレーザーアブレーション

*中村大輔, 川本実季, 藤本翼, 東畠三洋, 池上浩, 若山俊隆, 砂原淳, 東口武史

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キーワード: 19a-Z07-11, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 微細加工, 光渦, マイクロ結晶球

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