アセチレン-N<sub>2</sub>混合気体のマイクロ波プラズマCVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の作製と構造解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-S301-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1294

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

アセチレン-N₂混合気体のマイクロ波プラズマCVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の作製と構造解析

*佐藤悠雅, 伊藤治彦

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キーワード: 13p-S301-11, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, プラズマCVD, 水素化アモルファス窒化炭素

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