応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 13p-S301-11
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アセチレン-N2混合気体のマイクロ波プラズマCVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の作製と構造解析
*佐藤 悠雅伊藤 治彦
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