微細加工表面における分子散乱を用いた受動的圧縮機構

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10a-N204-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1590

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

微細加工表面における分子散乱を用いた受動的圧縮機構

*庄田光佑, 上瀧優希, 板谷一輝, 江﨑啓介, 杉本紘基, 芦田優作, 小澤宇志, 山下裕介, 西山和孝, 横田久美子, 田川雅人

著者情報

キーワード: 10a-N204-2, ビーム応用, 原子・分子線およびビーム関連新技術, 原子・分子ビーム応用, 分子線散乱, 微細加工表面, 大気吸入イオンエンジン

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