第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 10p-S301-9
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
円筒対向ターゲットスパッタのための高周波リング状ホロー磁化プラズマの生成
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主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
