応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 12p-N102-14
会議情報

C3H6 / H2プラズマを用いたアモルファスカーボン成膜において水素ガス流量比が膜特性に与える影響
*黒川 純平光成 正堤 隆嘉近藤 博基関根 誠石川 健治堀 勝
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2021 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
feedback
Top