第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 22p-P01-8
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
アセチレンプラズマ中でのアモルファス炭素膜の成膜メカニズムの検討
キーワード:
22p-P01-8,
プラズマエレクトロニクス,
プラズマ成膜・エッチング・表面処理,
成膜・表面処理装置および制御技術,
アモルファス炭素膜,
アセチレンプラズマ,
多重内部反射赤外吸収分光法
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