The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021
セッションID: 22p-P01-10
会議情報
主催: The Japan Society of Applied Physics
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
Development of Yttrium Oxide Deposition Process using Microwave Excited Atmospheric Pressure Plasma Jet
*BatOrgil Oogii Erdenezaya, Ryosuke Shimizu, Sai Ngaunn Hseng, Kenta Kametani, Takeshi Aizawa, Yusuke Nakano, Yasunori Tanaka, Tetsuya Taima, Tatsuo Ishijima
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