Ar+CH<sub>4</sub>平行平板型プラズマCVDで作製したカーボンナノ粒子サイズに対するガス圧力の効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-N323-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1653

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

Ar+CH₄平行平板型プラズマCVDで作製したカーボンナノ粒子サイズに対するガス圧力の効果

*古閑一憲, 黄成和, 小野晋次郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 鷹林将, 呉準席, 中谷達行, 白谷正治

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キーワード: 13a-N323-1, プラズマエレクトロニクス, プラズマナノテクノロジー, フラーレン及びナノ粒子, プラズマCVD, カーボンナノ粒子

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