第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 12p-N304-1
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
PN-Body Tied SOI-FETマルチフィンガー構造で発生する階段状立上り現象とその改善方法
キーワード:
12p-N304-1,
半導体,
デバイス／配線／集積化技術,
新構造デバイス（ナノワイヤ、FinFETなど）,
SOI MOSFET,
steep subthreshold slope
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