第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 13a-N307-5
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
二硫化タンタルの酸化によるゲート誘電体を用いたFETの作製
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主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
