直接合成法によるβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>ナノワイヤの作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 23p-P12-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_3357

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

直接合成法によるβ-Ga₂O₃ナノワイヤの作製

*日野友哉, 西野克志

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キーワード: 23p-P12-11, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 新機能材料･新技術開発, Ga2O3, ナノワイヤ

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