応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22a-E303-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

ECR-PECVD法を用いて低温作製した光周波数コム発生器
*相原 卓磨, 開 達郎, 西 英隆, 土澤 泰, 松尾 慎治
著者情報
キーワード: 22a-E303-3, 光・フォトニクス, シリコンフォトニクス・集積フォトニクス, 光変調器，光スイッチ，非線形デバイス, SiN, 光周波数コム, リング共振器
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