MnドープITO薄膜に対するスパッタエピタキシー技術の開発と物性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 23p-P06-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1280

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

MnドープITO薄膜に対するスパッタエピタキシー技術の開発と物性評価

*北川彩貴, 川村亮人, 武久進太郎, 中村敏浩

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キーワード: 23p-P06-2, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 半導性・導電性薄膜, 透明導電膜, 希薄磁性半導体, エピタキシャル成長

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