応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 24a-F307-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

GCIB援用蒸着法で堆積したアモルファス炭素膜の軟X線発光分光分析
宮本 黎美, 西山 昭雄, 吉川 亮太, 田口 純志, *小松 啓志, 齊藤 信雄, 齋藤 秀俊
著者情報
キーワード: 24a-F307-3, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, GCIB援用蒸着法, アモルファス炭素膜, 軟X線発光分光分析
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© 2022 公益社団法人 応用物理学会
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