応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 23a-E103-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

深振動マグネトロンスパッタリングの発光分光計測とイオン閉じ込め効果の検討
*横山 英佐, 小野 洋平, 坂本 大樹, 高山 昇大, 西宮 信夫, 實方 真臣, 戸名 正英, 山本 宏晃, 塚本 恵三, 冨宅 喜代一, 大下 慶次郎, 美齊津 文典
著者情報
キーワード: 23a-E103-9, プラズマエレクトロニクス, プラズマ現象・新応用・融合分野, 原子分子・放電過程, パルススパッタリング, 発光分光分析, 深振動マグネトロンスパッタリング
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© 2022 公益社団法人 応用物理学会
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