自己ジュール加熱金属ナノシートアレイによる微量な多分子の低消費電力ガスセンシング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 23p-E307-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2352

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

自己ジュール加熱金属ナノシートアレイによる微量な多分子の低消費電力ガスセンシング

*田中貴久, 田渕健太, 舘洞康平, 椎木陽介, 中川修哉, 高橋綱己, 清水涼太, 石黒仁揮, 黒田忠広, 柳田剛, 内田建

著者情報

*田中貴久
東大工
田渕健太
慶大工
舘洞康平
慶大工
椎木陽介
慶大工
中川修哉
慶大工
高橋綱己
東大工
清水涼太
慶大工
石黒仁揮
慶大工
黒田忠広
東大工
柳田剛
東大工
内田建
東大工

キーワード: 23p-E307-2, 半導体, デバイス／配線／集積化技術, 金属ナノシート, ガスセンサ, 自己加熱

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2022 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top