応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 23p-E302-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

空孔誘導Mg熱拡散法を用いたGaNのMg濃度制御
*伊藤 佑太, 島村 健矢, 渡邉 浩崇, 出来 真斗, 新田 州吾, 本田 善央, 田中 敦之, 天野 浩
著者情報
キーワード: 23p-E302-7, 半導体, 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価, III-V族プロセス技術・評価, イオン注入, 熱拡散, GaN
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