応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 23p-P07-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

X線回折極点図測定を用いたGaInSb HEMT構造中の双晶評価
*海老原 怜央, 國澤 宗真, 羽鳥 小春, 吉田 陸人, 渡邊 一世, 町田 龍人, 山下 良美, 原 紳介, 笠松 章史, 遠藤 聡, 藤代 博記
著者情報
キーワード: 23p-P07-4, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎, Sb系混晶, 高電子移動度トランジスタ
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