シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(24) インターネットとtemplateを用いた赤外測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 26p-E104-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2811

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(24) インターネットとtemplateを用いた赤外測定

*井上直久, 奥田修一, 川又修一

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キーワード: 26p-E104-11, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 不純物効果, シリコン結晶, 炭素濃度, 赤外吸収

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