Cat-CVD水素化n-a-Si膜へのFLAにより形成した多結晶Si膜を用いた簡易裏面電極型Siヘテロ接合太陽電池の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22p-F408-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2820

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

Cat-CVD水素化n-a-Si膜へのFLAにより形成した多結晶Si膜を用いた簡易裏面電極型Siヘテロ接合太陽電池の作製

*王崢, Tu Huynh Thi Cam, 大平圭介

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キーワード: 22p-F408-3, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価・プロセス・デバイス, 薄膜，多層膜，表面・界面, シリコン薄膜

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