CVD法を用いたサファイア基板上h-BNの合成制御

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22p-P03-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2964

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

CVD法を用いたサファイア基板上h-BNの合成制御

*原田哲匡, 八木龍斗, 川合良知, 佐々木拓生, 日比野浩樹

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キーワード: 22p-P03-16, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, 六方晶窒化ホウ素, サファイア

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