W前駆体としてn-BuNC-W(CO)<sub>5</sub>を用いた低温有機金属化学気相成長法によるWS<sub>2</sub>の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 24a-E102-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2996

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

W前駆体としてn-BuNC-W(CO)₅を用いた低温有機金属化学気相成長法によるWS₂の作製

*張桐永, 町田英明, 石川真人, 須藤弘, 若林整, 横川凌, 澤本直美, 小椋厚志

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キーワード: 24a-E102-3, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, WS2, MOCVD, 低温成膜

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