応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 23p-P12-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

r面sapphire基板上にMBE成長したp型a面ZnO:N薄膜
*萩原 綱隆, 入江 航次, 後藤 憲應, 畑 和輝, 阿部 友紀, 市野 邦男, 赤岩 和明
著者情報
キーワード: 23p-P12-3, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 薄膜成長, p型ZnO:N, ラジカルソースMBE, 非極性a面ZnO:N
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