Cu添加Cu<sub>2</sub>O粉末ターゲットを用いた配向Cu<sub>2</sub>O薄膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 23p-P12-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_3020

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

Cu添加Cu₂O粉末ターゲットを用いた配向Cu₂O薄膜の作製

*吉田朱里, 鬼塚遼平, 近藤和, 山田容士, 舩木修平, 葉文昌

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キーワード: 23p-P12-12, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 透明導電膜, Cu2O, 半導体, 薄膜

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