ミストCVDによるZnOナノ粒子分散(Ga,Al)<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 25a-E202-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_3027

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

ミストCVDによるZnOナノ粒子分散(Ga,Al)₂O₃薄膜の作製

*矢ケ崎司, 奈良俊宏, 田中京輔, 伊藤里樹, 光野徹也, 小南裕子, 原和彦

著者情報

キーワード: 25a-E202-5, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 薄膜成長, ミストCVD, 酸化ガリウム

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2022 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

円盤状ロボットに対する五特徴点を用いた向きの推定方法の提案と評価

Top