電気加工学会誌
Online ISSN : 1881-0888
Print ISSN : 0387-754X
ISSN-L : 0387-754X
リニアモータ駆動小型超精密形彫放電加工機の紹介
サブミクロンヘの挑戦
株式会社ソディック英 博
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2002 年 36 巻 83 号 p. 20-23

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