OS6(3)-12(OS06W0426) MEMS Device Characterization for Repeated Cyclic Operation

Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics

Online ISSN : 2424-2837

2003

DOI https://doi.org/10.1299/jsmeatem.2003.114

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OS6(3)-12(OS06W0426) MEMS Device Characterization for Repeated Cyclic Operation

Hiroyuki Fujita

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p. 114-

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© 2003 The Japan Society of Mechanical Engineers

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