計算力学講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2799
セッションID: 1308
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量子分子動力学法によるシリコン酸化膜の酸素欠損構造と電気特性に関する検討(OS13b 電子・原子シミュレーションに基づく材料特性評価)
鈴木 研, 伊藤 雄太, 三浦 英生, 庄子 哲雄
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© 2004 一般社団法人 日本機械学会
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