計算力学講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2799
セッションID: 1421
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1421 実時間スケールでの薄膜起因応力場におけるシリコン転位動力学解析(OS-14F 電子・原子・マルチスケールシミュレーションに基づく材料特性評価(DD,QC),OS-14 電子・原子・マルチスケールシミュレーションに基づく材料特性評価)
小林 尚司, 泉 聡志, 酒井 信介, 太田 裕之
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© 2005 一般社団法人 日本機械学会
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