計算力学講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2799
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ドライエッチング中における真性応力に起因する微細パターン構造のうねり座屈予測
田中 展, 日高 貴弘, 井上 優, 泉 聡志, 酒井 信介
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p. 507-508

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