計算力学講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2799
セッションID: 4_117
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 第29回 計算力学講演会

開催日: 2016/09/22 - 2016/09/24

Si単結晶中のドーパント近傍の金属拡散に関する第一原理計算
山田 惇弘, 末岡 浩治
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キーワード: Gettering, Diffusion barrier, First principles calculation
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