成膜装置チャンバー内の AoG(Age of Gas) 成膜装置チャンバー内の AoG(Age of Gas) AoG(Age of Gas)シミュレーションおよびガス流れの評価

諏訪 好英

doi:10.1299/jsmecmd.2017.30.100

セッションID: 100

DOI https://doi.org/10.1299/jsmecmd.2017.30.100

会議情報

主催: 一般社団法人日本機械学会

会議名: 第30回計算力学講演会

開催日: 2017/09/16 - 2017/09/18

成膜装置チャンバー内の AoG(Age of Gas) 成膜装置チャンバー内の AoG(Age of Gas) AoG(Age of Gas)シミュレーションおよびガス流れの評価

*諏訪好英

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キーワード: Cleanroom, Contamination Control, Age of Air, Sedimentation Velocity, Langmuir-type Adsorption Model

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抄録

AoG（Age of Gas）は各部のガスがその空間に導入されてから経過した時間であり，流れの性能を数値化する手段として有効である．本報ではまず AoG の概念とこれを用いたガス流れの評価の有効性について述べ，CVD 薄膜生成プロセスにおける反応ガスの流れの適正化，および薄膜装置のクリーニングプロセスにおけるガス流れの適正化に適用した事例を報告する．また気相反応，表面反応を含む系の反応予測に AoG を用いる新たな試みについて紹介する．

責任著者(Corresponding author)

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