SU-8/Cu複合材料の光熱効果を利用した温度制御デバイスの開発

中国四国支部総会・講演会　講演論文集

Online ISSN : 2424-2764

セッションID: 413

DOI https://doi.org/10.1299/jsmecs.2019.57.413

会議情報

主催: 一般社団法人日本機械学会

会議名: 日本機械学会中国四国支部第57期総会・講演会

開催日: 2019/03/07

SU-8/Cu複合材料の光熱効果を利用した温度制御デバイスの開発

*田﨑淳一, 中原佐, 南和幸

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キーワード: Photosensitive composite, Micro-heater, MEMS, Copper particle, Photothermal effect

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