セッションID: 05a2
会議情報
主催: 一般社団法人 日本機械学会
会議名: 日本機械学会 中国四国支部第60期総会・講演会
開催日: 2022/03/04
枚葉式半導体洗浄装置内に形成される螺旋渦の形成メカニズムと制御方法の調査
キーワード:
Single wafer cleaner,
Large-scale vortices,
Rotating-stationary disks,
Bödewadt layer,
Computational Fluid Dynamics
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