中国四国支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2764
セッションID: 10a1
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 中国四国支部第62期総会・講演会

開催日: 2024/03/08

ポリマーチューブのRIE加工用転写型ステンシルマスクの転写条件の評価
*住浦 一成, 中原 佐, 南 和幸
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キーワード: Stencil mask, Cylindrical reactive ion etching, Decal transfer method
会議録・要旨集 認証あり

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