流体工学部門講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2896
セッションID: 511
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511 フォトリソグラフィー法によって製作した分散系ER流体用3ポートマイクロERバルブ(O.S.5-3 ER流体)(O.S.5 機能性流体とシステム化)
加藤 輝雄, 中野 政身, 松下 浩一, 佐藤 聡
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© 2001 一般社団法人 日本機械学会
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