セッションID: J012
会議情報
主催: 一般社団法人 日本機械学会
会議名: 日本機械学会 北陸信越支部第57期総会・講演会
開催日: 2020/03/08
広視野シングルショットレーザ干渉計に及ぼす振動の影響
キーワード:
Interference fringe,
Laser interferometry,
Vibration-free,
On-machine measurement,
Wide field of view
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