フレキシブルPZT圧電薄膜 エナジーハーベスタの作製および評価

原田 燎; 梅垣 俊仁; 肥田 博隆; 神野 伊策

doi:10.1299/jsmeiip.2020.2A06

IIP2020 情報・知能・精密機器部門講演会

DOI https://doi.org/10.1299/jsmeiip.2020.2A06

会議情報

主催: 一般社団法人日本機械学会

会議名: IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集

開催日: 2020/03/26 - 2020/03/27

フレキシブルPZT圧電薄膜エナジーハーベスタの作製および評価

*原田燎, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策

著者情報

キーワード: Energy harvesting, Piezoelectric, Flexible, Wearable device, Human motion

会議録・要旨集フリー

p. 2A06-

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抄録

Interest in energy harvesters has grown rapidly over the last decade. In this study, we fabricate and evaluate piezoelectric energy harvesters (PEH) fabricated from Pb(ZrTi)O3 (PZT) thin films on stainless steel foils. The PZT thin films were deposited onto (Pb,La)TiO3/Pt/Ti-coated stainless steel substrate by RF-magnetron sputtering. Parallel and series connection of eachPEH enabled the output power increase as high as turning on a LED.

責任著者(Corresponding author)

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