1116 高振動数超音波ワイヤボンダの振動解析(OS-6.GS-10 非線型振動(1))

関西支部講演会講演論文集

Online ISSN : 2424-2756

セッションID: 1116

DOI https://doi.org/10.1299/jsmekansai.2004.79._11-31_

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1116 高振動数超音波ワイヤボンダの振動解析(OS-6.GS-10 非線型振動(1))

西山基尚, 生駒和也, 岩清水幸夫

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