局所座屈した金属ナノ多層膜における基板の影響

抄録

銅基板上に成膜した金属ナノ多層膜を基板ごと圧縮すると、金属ナノ多層膜は局所座屈を起こす。しかしながら、多層膜に隣接する銅基板が局所座屈にどのような影響を及ぼすのかについては未知なる点が多い。本研究では、局所座屈形成と基板結晶の方位、特にすべり方向との関連を調査した。基板には多結晶銅および単結晶銅を用いて金属ナノ多層膜を成膜後に圧縮試験を行い、EBSD法などを利用して変形の様相を比較調査した。