日本機械学会九州支部講演論文集
Online ISSN : 2424-2780
セッションID: K14
会議情報
K14 MEMS技術を用いたCMPマイクロパターンパッドの研究 : マイクロパターンパッド表面形状の特性評価(K1 加工・生産システム2(ポリシング,CMP))
高橋 直亮, 木村 景一, パナート カチョーンルンルアン
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© 2008 一般社団法人 日本機械学会
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