日本機械学会九州支部講演論文集
Online ISSN : 2424-2780
セッションID: 903
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 九州支部 第70期総会・講演会

開催日: 2017/03/14 -

コロイダルセリア砥粒を用いた石英ガラス基板研磨
～AFMを用いた基板表面の調査～
黒河 周平, 林 照剛, *外山 貴彬
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キーワード: Calcined CeO2, Colloidal CeO2, Quartz glass, pH
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