日本機械学会九州支部講演論文集
Online ISSN : 2424-2780
セッションID: 905
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 九州支部 第70期総会・講演会

開催日: 2017/03/14 -

CMPソフトパッド表面性状の観察調査
―高圧ジェットのパッド表面性状への影響評価―
*北村 将, 渡邊 敦則, 黒河 周平, 林 照剛, 檜山 浩國, 和田 雄高, 高東 智佳子
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キーワード: CMP, Polishing pad, Soft type pad, Surface texture, Pore, Nap, High-pressure jet
会議録・要旨集 認証あり

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